Wafer Metrology
완전 자동화된 Park AFM은 인라인 웨이퍼 제조 공정에 최적화하도록 설계되었습니다. 일관되고 정확하며 광범위한 데이터를 제공하는 이러한 시스템은 제조 프로세스와 제품 품질을 향상 시킵니다.
Mask Repair
마스크 수리를 위한 Park AFM은 자동화된 결함 검토부터 수리 및 후속 수정 사항 검증까지 전체 프로세스를 간소화하는 포괄적인 솔루션을 제공하여 수리 효율성과 처리량을 크게 향상시킵니다.
Advanced Packaging
Park NX-Hybrid WLI는 WLI 프로파일 측정 기능이 내장된 최초의 AFM으로, 반도체 전·후공정부터 첨단 패키징 및 R&D까지 활용됩니다. 넓은 영역에서 높은 처리량과 나노 이하 해상도의 초정밀 측정을 제공합니다.
Flat Panel Display
OLED, LCD 및 포토마스크를 포함한 평면 패널 디스플레이 제조 및 계측을 위하여, Park AFM은 300mm를 초과하는 대규모 샘플 분석에 최적화된 가장 정확하고 비파괴적인 측정 방법을 제공합니다.