エリプソメーター

イメージング分光エリプソメトリー

イメージング分光エリプソメトリーは、エリプソメトリーと光学顕微鏡の利点を単一の画像ベースの計測アプローチに統合した技術です。カメラの視野内で多数の測定点を同時に取得することで、従来の点測定を空間分解された薄膜および表面の解析へと発展させます。 イメージング分光エリプソメトリーは、非接触・非破壊の完全光学的手法であり、1 µmまでの顕微鏡レベルの面内分解能で微細構造を有する薄膜試料の特性評価を可能にします。システム構成に応じて、膜厚および光学特性の完全分光的かつ定量的なマッピングを提供し、従来の単点エリプソメーターでは捉えられない試料の特徴やばらつきを可視化します。