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    性能を備えた先進のナノ計測ソリューション

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Micro Lenses - Thickness of Coating Layer
Micro Lenses - Imaging Mueller Matrix

Curved Surfaces

What is unique about an imaging ellipsometer?

Ellipsometry is a very sensitive technique to measure thin films and antireflection (AR) coatings. However, it usually works for flat samples only. By using our patented technique in combination with the Imaging Ellipsometer ep4 on curved surfaces, we can overcome this issue and measure e.g. AR coatings on micro-lens-arrays.

• Measure layer thickness and refractive index on curved surfaces

• Investigate anti-reflection coatings on lenses, curved mirrors and micro-lens-arrays

• Determine thickness distribution of multiple objects within a single measurement

Brochure
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Micro Lenses - Thickness of Coating Layer
Micro Lenses - Imaging Mueller Matrix

Analysis of Thin-Film-Coatings on Curved Surfaces by Spectroscopic Ellipsometry (pdf)

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Charaterization of AR-Coatings on Micro-Lens-Arrays (pdf)

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Thin-film metrology of tilted and curved surfaces by imaging Mueller-matrix ellipsometry (2019)

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