Park Systems

Park NX15

高度な研究に対応する多用途ナノ計測ツール

Park NX15は、安定したパフォーマンスを提供する汎用性の高い原子間力顕微鏡（AFM）です。サンプルステージは最大150 mmウェハまでをカバーでき、半導体および材料研究におけるナノスケール計測のための堅牢なプラットフォームを提供します。

NX15のコア技術には、Park独自の直交性に優れたスキャンシステムとTrue Non-contact™モードが採用されています。これらの革新的技術により、横方向のモーションアーチファクトをほぼ完全に排除しつつ、探針とサンプルを保護します。その結果、繊細なサンプルや難易度の高いサンプルでも、アーチファクトのない高解像度イメージングを実現します。

材料科学、半導体、ポリマー、バイオエンジニアリングまで、NX15は幅広い分野で安定した測定性能と高い信頼性を提供し、先端ナノスケールメトロロジーのための確かなプラットフォームとして選ばれています。

特長

優れたNXメカニカルデザイン

NX15 は、XY・Z スキャナ性能を大幅に向上させた設計を採用しています。高速 Z サーボによる迅速な垂直応答と、より正確なイメージングを可能にする Z 走査の直進性向上を実現しました。さらに、XY スキャナーが走査中の高精度な位置決めを保証します。

高速Zサーボと高分解能

Park NXシリーズの画像解像度がさらに向上しました。積層ピエゾアクチュエータとストレインゲージセンサーを備えたNX Zスキャナーは、さまざまな表面で高速かつ高精度な測定を実現します。極めて平坦な試料から粗いものまで、スキャンサイズに関係なく、一貫した粗さの直線性を維持し、あらゆる測定で信頼性の高い結果を保証します。

NXレーザービームパス

NXヘッドは、低コヒーレンスの照明を提供するスーパールミネッセントダイオードを内蔵し、干渉を最小限に抑え、安定した信号検出を実現します。レーザービームは精密ミラーを介してカンチレバーと位置検出型光検出器（PSPD）に導かれ、正確な信号位置合わせを保証します。

ノブ操作によりレーザービームをX軸およびY軸方向へ直接移動でき、ビーム位置を直感的に調整できるほか、プローブ交換時の再アライメントもスムーズに行えます。

取り付け済みのプローブ

AFMのプローブ交換は、経験豊富なユーザーにとっても困難な場合があり、破損につながることも少なくありません。ParkAFMは、事前に位置合わせされたプローブチップキャリアとキネマティックマウントポイントを使用することで、信頼性が高く一貫したチップの位置決めを実現します。

NXヘッドのZスキャナーには、キネマティックマウント用の3つの精密ボールが搭載されており、ベース部のマグネットにより、確実で信頼性が高く、再現性のあるマウント位置を確保します。

改善されたZスキャンの直進性

Park NXシリーズZスキャナーは、使用可能範囲全体で0.1%以内の真直度を維持し、15μmの最大伸長時でも軸外方向の動きは5nm未満です。

予圧スプリング、キネマティックピン、ピエゾアクチュエーターを組み合わせたコンパクトな構造は、ドリフトを最小限に抑え、信頼性が高く歪みが生じないナノスケール測定のための正確な垂直運動を保証します。

モードおよびオプション用の拡張スロット

オプションモジュールを拡張スロットに差し込むだけで、高度なAFMモードが使えるようになります。パークNXシリーズAFMは、モジュール設計を採用しており、製品ライン全体のオプションとの互換性を確保しています。

同軸光学顕微鏡

高出力の軸上光学顕微鏡により、試料表面を鮮明に観察できます。ソフトウェア制御のLED光源が試料表面を照らし、観察性を向上させます。

Park AFMテクノロジー

直交スキャン

チューブスキャナーを備えた従来のAFMは、面外方向の運動と軸のクロストークの影響を受け、特に広いスキャンエリアでは画像の歪みが生じます。NX15は、すべてのPark AFMと同様に、フレクシャガイド式アーキテクチャを採用した高度な直交スキャンシステムを搭載しています。2Dフレクシャスキャナーが試料をXY平面内で移動させ、独立した1DフレクシャスキャナーがプローブのZ軸の運動を制御します。XYフィードバック用の低ノイズ光学センサーとZ制御用の超低ノイズひずみゲージセンサーを備えた分離型スキャナーシステムにより、面外方向の動きを最小限に抑え、高い直交性と直線性を持つスキャンと高速な動的性能を実現します。

大型試料の場合、シングルサーボのXYスキャンシステムだけでは不十分で、サンプルチャックの回転運動によって位置決め誤差が発生し、位置センサーからの距離が離れるほどその誤差は大きくなります。

XYスキャナは、積層ピエゾアクチュエーターとフレクシャーヒンジ構造を採用することで、垂直干渉のないフラットで純粋な水平運動を実現するように設計されています。位置センサーはサーボ制御に直接フィードバックを提供し、スキャン領域全体での位置決め誤差を最小限に抑えます。この設計により、150 × 150mm²のサンプル領域全体で一貫した精度と安定性が確保されます。