Park NX20 300 mm
研究と産業の架け橋となる最先端のナノ計測ツール
Park NX20 300mmは、大型試料の研究および300mmウェーハに対して設計された原子間力顕微鏡（AFM）です。故障解析は、産業研究開発のための重要なプラットフォームとなっています。Park Systems独自の300mmの試料に対応するAFMとして、精密で再現性の高いナノスケール測定を実現し、学術分野でも広く使用されています。これらの強みを基盤として、NX20 300mmは研究規模のAFMからインライン生産へ移行する施設のための架け橋として機能します。
NX20 300mmの中核には、Park Systems独自の直交走査システムとTrue Non-contact™（完全非接触）モードが採用されています。これらの革新技術により、横方向のモーションアーチファクトを実質的に排除すると同時に、探針とサンプルを保護します。これらの技術を組み合わせることで、最も繊細で取り扱いが難しい試料でも、アーティファクトのない高解像度のイメージングが可能になります。
材料科学、半導体からポリマー、バイオエンジニアリングまで、NX20 300mmは堅牢な性能と信頼性の高い測定結果を提供し、高度なナノスケール測定のプラットフォームとして信頼されています。
特長
優れたNXメカニカルデザイン
NX20 300mmは、LED 照明を一体化したオンアクシス光学顕微鏡を搭載しており、プローブとサンプルの両方をリアルタイムで観察できます。垂直配置のモーター駆動式 Z ステージとフォーカスステージは、ソフトウェア制御による自動チップアプローチに対応しており、高い精度と使いやすさを実現します。ダブテールレールを採用したスライド式接続の AFM ヘッドにより、迅速なセットアップが可能です。また、拡張スロットは高度な AFM モードやオプションに対応します。モーター駆動式 XY サンプルステージは、複数座標での容易なナビゲーションと連続測定を実現し、0.6 μm の微細ステップ分解能を備えています。
高速Zサーボと高分解能
Park NXシリーズの画像解像度がさらに向上しました。積層ピエゾアクチュエータとストレインゲージセンサーを備えたNX Zスキャナーは、さまざまな表面で高速かつ高精度な測定を実現します。極めて平坦な試料から粗いものまで、スキャンサイズに関係なく、一貫した粗さの直線性を維持し、あらゆる測定で信頼性の高い結果を保証します。
NXレーザービームパス
NXヘッドは、低コヒーレンスの照明を提供するスーパールミネッセントダイオードを内蔵し、干渉を最小限に抑え安定した信号検出を実現します。レーザービームは精密ミラーを通してカンチレバーと位置感知型光検出器（PSPD）に誘導され、正確な信号アライメントを保証します。
ノブ操作によりレーザービームをX軸およびY軸方向へ直接移動でき、ビーム位置を直感的に調整できるほか、プローブ交換時の再アライメントもスムーズに行えます。
取り付け済みのプローブ
AFMのプローブ交換は、経験豊富なユーザーにとっても困難な場合があり、破損につながることも少なくありません。ParkAFMは、事前に位置合わせされたプローブチップキャリアとキネマティックマウントポイントを使用することで、信頼性が高く一貫したチップの位置決めを実現します。
NXヘッドのZスキャナーには、キネマティックマウント用の3つの精密ボールが搭載されており、ベース部のマグネットにより、確実で信頼性が高く、再現性のあるマウント位置を確保します。
Zスキャンの直進性向上
Park NXシリーズZスキャナーは、使用可能範囲全体で0.1%以内の真直度を維持し、15μmの最大伸長時でも軸外方向の動きは5nm未満です。
プリロードスプリング、キネマティックピン、およびピエゾアクチュエータを組み合わせた小型アセンブリは、ドリフトを最小限に抑え、正確な垂直方向の動きを確保することで、信頼性の高い歪みのないナノスケールの測定を実現します。
モードおよびオプション用の拡張スロット
オプションモジュールを拡張スロットに差し込むだけで、高度なAFMモードが使えるようになります。パークNXシリーズAFMは、モジュール設計を採用しており、製品ライン全体のオプションとの互換性を確保しています。
同軸光学顕微鏡
高出力の軸上光学顕微鏡により、試料表面を鮮明に観察できます。ソフトウェア制御のLED光源が試料表面を照らし、観察性を向上させます。
Park AFMテクノロジー
直交スキャン
チューブスキャナーを備えた従来のAFMは、面外方向の運動と軸のクロストークの影響を受け、特に広いスキャンエリアでは画像の歪みが生じます。NX20 300mmは、すべてのPark AFMと同様に、フレクシャガイド式アーキテクチャを採用した高度な直交スキャンシステムを搭載しています。2Dフレクシャスキャナーが試料をXY平面内で移動させ、独立した1DフレクシャスキャナーがプローブのZ軸の運動を制御します。XYフィードバック用の低ノイズ光学センサーとZ制御用の超低ノイズひずみゲージセンサーを備えた分離型スキャナーシステムにより、面外方向の動きを最小限に抑え、高い直交性と直線性を持つスキャンと高速な動的性能を実現します。
大型試料の場合、シングルサーボのXYスキャンシステムだけでは不十分で、サンプルチャックの回転運動によって位置決め誤差が発生し、位置センサーからの距離が離れるほどその誤差は大きくなります。
NX20 300mmでは、XYスキャナーはデュアルサーボシステムを採用しており、各軸の反対側にアクチュエーターと位置センサーがペアで配置されています。4つのアクチュエーターはすべて独立して制御され、300 × 300mmの試料領域全体にわたって正確な位置決めを保証します。
Park AFMテクノロジー
True Non-Contact™（完全非接触）モード
NX20 300mmは、Park Systemsが独占的に提供する独自のテクノロジーであるTrue Non-contact™（完全非接触）モードを備えています。True Non-contact（完全非接触）モードは、AFM探針と試料表面の間の引力であるファンデルワールス力を検出することで表面形状を取得します。
