Park NX10
ナノスケール計測における卓越した性能
Park NX10は、小型試料の研究用に設計された原子間力顕微鏡（AFM）のフラッグシップモデルで、高精度な測定を実現します。比類のない精度、信頼性、使いやすさが特徴です。Park Systems独自の小型試料用AFMとして、高精度で再現性の高いナノスケール測定を実現し、学術・産業界の研究室で世界的な評価を得ています。
NX10の中核をなすのは、パーク独自の直交スキャンシステムとTrue Non-Contact™（完全非接触）モードです。探針と試料の両方を保護しつつ、横方向のモーションアーティファクトをほぼ完全に排除する革新技術です。これらの技術を組み合わせることで、最も繊細で取り扱いが難しい試料でも、アーティファクトのない高解像度のイメージングが可能になります。
材料科学からポリマー、バイオエンジニアリングまで、NX10は堅牢な性能と信頼性の高い結果を提供し、高度なナノスケール計測のための信頼できるプラットフォームとなっています。
特長
優れたNXメカニカルデザイン
NX10 は、XY・Z スキャナ性能を大幅に向上させた設計を採用しています。高速 Z サーボによる迅速な垂直応答と、より正確なイメージングを可能にする Z 走査の直進性向上を実現しました。さらに、XY スキャナーが走査中の高精度な位置決めを保証します。
もう一つの特長は、低い Z 検出ノイズです。スタック型ピエゾアクチュエータとストレインゲージセンサーにより、NX は高い精度と非常に低いノイズレベルを両立し、信頼性の高い測定に不可欠な性能を提供します。これらの特長により、NX シリーズは高度な AFM 研究に適した堅牢かつ高精度なプラットフォームとなっています。
高速Zサーボと高分解能
Park NXシリーズの画像解像度がさらに向上しました。積層ピエゾアクチュエータとストレインゲージセンサーを備えたNX Zスキャナーは、さまざまな表面で高速かつ高精度な測定を実現します。
極めて平坦な試料から粗いものまで、スキャンサイズに関係なく、一貫した粗さの直線性を維持し、あらゆる測定で信頼性の高い結果を保証します。
NXレーザービームパス
NXヘッドは、低コヒーレンスの照明を提供するスーパールミネッセントダイオードを内蔵し、干渉を最小限に抑え安定した信号検出を実現します。レーザービームは精密ミラーを通してカンチレバーと位置感知型光検出器（PSPD）に誘導され、正確な信号アライメントを保証します。
ノブ操作によりレーザービームをX軸およびY軸方向へ直接移動でき、ビーム位置を直感的に調整できるほか、プローブ交換時の再アライメントもスムーズに行えます。
取り付け済みのプローブ
AFMのプローブ交換は、経験豊富なユーザーにとっても困難な場合があり、破損につながることも少なくありません。Park AFMは、事前に位置合わせされたプローブチップキャリアとキネマティックマウントポイントを使用することで、信頼性が高く一貫したチップの位置決めを実現します。
NXヘッドのZスキャナーには、キネマティックマウント用の3つの精密ボールが搭載されており、ベース部のマグネットにより、確実で信頼性が高く、再現性のあるマウント位置を確保します。
改善されたZスキャンの直進性
Park NXシリーズZスキャナーは、使用可能範囲全体で0.1%以内の真直度を維持し、15μmの最大伸長時でも軸外方向の動きは5nm未満です。
予圧スプリング、キネマティックピン、ピエゾアクチュエーターを組み合わせたコンパクトな構造は、ドリフトを最小限に抑え、信頼性が高く歪みが生じないナノスケール測定のための正確な垂直運動を保証します。
モードおよびオプション用の拡張スロット
オプションモジュールを拡張スロットに差し込むだけで、高度なAFMモードが使えるようになります。パークNXシリーズAFMは、モジュール設計を採用しており、製品ライン全体のオプションとの互換性を確保しています。
同軸光学顕微鏡
高出力の軸上光学顕微鏡により、試料表面を鮮明に観察できます。ソフトウェア制御のLED光源が試料表面を照らし、観察性を向上させます。
Park AFMテクノロジー
直交スキャン
チューブスキャナーを備えた従来のAFMは、面外方向の運動と軸のクロストークの影響を受け、特に広いスキャンエリアでは画像の歪みが生じます。NX10は、すべてのPark AFMと同様に、フレクシャガイド式アーキテクチャを採用した高度な直交スキャンシステムを搭載しています。2Dフレクシャスキャナーが試料をXY平面内で移動させ、別個の1DフレクシャスキャナーがプローブのZ軸の運動を制御します。 XYフィードバック用の低ノイズ光学センサーとZ制御用の超低ノイズひずみゲージセンサーを備えた分離型スキャナーシステムにより、面外方向の動きを最小限に抑え、高い直交性と直線性を持つスキャンと高速な動的性能を実現します。
XYスキャナは、積層ピエゾアクチュエーターとフレクシャーヒンジ構造を採用することで、垂直干渉のないフラットで純粋な水平運動を実現するように設計されています。ポジションセンサーはスキャナーの中央に配置され、サーボ制御に対する直接的なフィードバックを提供し、スキャンエリア全体の位置決め誤差を最小限に抑えます。この設計により、大きな試料をスキャンする場合でも、一貫した精度と安定性が確保されます。
Park AFMテクノロジー
True Non-Contact™（完全非接触）モード
NX10は、Park Systemsが独占的に提供する独自のテクノロジーであるTrue Non-Contact™（完全非接触）モードを備えています。True Non-contact（完全非接触）モードは、AFM先端と試料表面間の引力であるファンデルワールス力を検出することで地形を取得します。
