椭偏仪

成像光谱椭偏仪

Park Systems 成像光谱椭偏仪将椭偏测量与光学显微镜相结合，用于对微结构薄膜和材料进行精确表征，横向分辨率可达 1 µm。该系统在德国研发和制造。

参比光谱椭偏仪

Park Systems 参考光谱椭偏仪通过对样品与参考进行比对，将椭偏测量的高灵敏度与反射测量的高速特性相结合，在单次测量中每秒可采集多达 200 条高分辨光谱。该系统在德国研发和制造。

椭偏仪附件

Park Systems 椭偏仪系统提供丰富的配件和扩展选项，可根据不同测量任务进行灵活配置。