晶圆计量 Park AFM晶圆系统在晶圆制造过程中精确的纳米级测量和控制中起着至关重要的作用,确保设备的准确构建。 光掩模修复 用于光掩模修复的Park AFM提供了一个全面的解决方案,从自动缺陷检查到修复和后续验证,大大提高了修复效率和吞吐量。 先进封装 Park AFM的白光干涉仪(WLI)集成在所有半导体制造阶段(包括先进封装和研发计量)中提高了质量保证和过程控制。 平板显示器 对于平板显示制造(包括OLED、LCD和光子学),Park AFM提供了一种高度准确且非破坏性的测量方法,优化用于超过300mm的大样品分析。