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为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。 为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。 为OLED面板行业提供整片测量，大尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。
在大面板显示制造领域，特别是对于超过300毫米的样品，精准的计量是至关重要的。这个行业面临的挑战是在大尺寸衬底上精准测量和分析纳米级特征，这对于确保最终产品如OLED和LCD的质量和性能至关重要。Park Systems通过专用于大面板扫描的AFM技术来应对这一挑战。
倾心为新一代显示器工厂的应用需求研发设计 Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的大型平板显示器进行测量。倾心为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。
Park NX-TSH 尖端扫描头系统为生产下一代平板显示器的制造商提供了增强的灵活性和精度。通过将样品固定在夹盘上并使用龙门架安装的尖端扫描头，它有效地克服了样品尺寸和重量的限制。专门为应对超过300毫米阈值限制的工厂面临的挑战而开发，Park NX-TSH 提供了全面的解决方案。通过导电AFM功能，它能够精确测量样品表面，此外还通过可选探针站进一步增强，这些探针站有助于将电流引入晶圆上的器件。
NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。 Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。 创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。
NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。
Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。