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椭偏仪

椭偏测量是一种高灵敏度的非接触式光学测量技术,用于表征薄膜和表面。通过分析反射光偏振状态的变化,可以实现对薄膜厚度和光学常数的精确测定,分辨率可达纳米甚至亚纳米级。