椭偏仪

成像光谱椭偏仪

成像光谱椭偏技术将椭偏测量和光学显微镜的优势整合到一种基于成像的计量方法中。通过在相机视场内同时获取多个测量点，成像椭偏将传统的单点测量转变为空间分辨的薄膜和表面分析。作为一种全光学、非接触、非破坏性的技术，成像光谱椭偏仪能够以高达 1 µm 的微观横向分辨率对微结构薄膜样品进行表征。根据系统配置，它可提供完全光谱化、定量的厚度和光学特性映射，揭示常规单点椭偏仪无法检测到的特征和样品变化。