Park nano-IR Spectroscopy

Park nano-IR 光谱分析系统

集成纳米红外光谱的原子力显微镜化学分析系统

Park Nano-IR通过光诱导力显微镜(PiFM)技术与Park原子力显微镜技术联用,提供纳米级分辨率的材料化学分析方案,支持先进材料与半导体领域的精准分析需求。

Park nano-IR 光谱分析的技术优势

Park nano-IR在空间分辨率表现上显著优于传统红外光谱技术,可稳定保持纳米级检测精度。采用非接触式测量技术,有效降低样品损伤与探针污染风险,保证高可靠性测量。其分子分析能力覆盖纳米尺度,可提供约10 nm空间分辨率的红外吸收光谱与化学分析,支持单层分子检测。通过边带技术整合,系统可解析分子键合特征,结合直接驱动与边带双模检测方法获取多维度材料数据。

FX系列AFM集成自动探针安装与红外激光校准功能,显著简化测量配置流程,缩短实验准备时间,优化操作过程。

Park nano-IR同步获取高分辨率三维形貌、红外光谱及特定波数化学图谱,结合AFM纳米机械/电学/热学性能检测功能,实现材料多属性联合表征。该技术可应用于半导体领域缺陷定位与纳米级材料成分识别,支持器件失效分析与特性研究。

PiFM 技术创新应用

PiFM技术基于非接触式检测原理,在空间分辨率、数据稳定性及样品保护方面较传统轻敲模式光热诱导共振(tapping PTIR)技术具有应用优势。通过Park nano-IR,用户可获取纳米级高分辨率红外光谱与吸收图像,完成复杂材料的精细化学分析。系统输出的红外光谱数据与傅里叶变换红外光谱(FTIR)兼容性良好,结合直接驱动与边带双模检测技术,支持从不同材料深度提取分析信息。

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PiFM 技术创新应用

Photo-induced Force Microscopy (PiFM) is an SPM technique that merges infrared (IR) spectroscopy with AFM. It enables the simultaneous analysis of both the chemical composition and topography of the sample.

核心特性 & 系统适配

Park nano-IR兼容FX200 IR、FX300 IR及FX300*系统,提供以下功能:

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  • 支持小尺寸至300 mm晶圆的多样化样品测量
  • 基于PiFM技术实现高空间分辨率红外光谱分析
  • 自动化IR激光校准功能简化测量设置流程
  • 兼容纳米力学、电学及热学特性等多模式分析

*注:FX300系统可扩展nano-IR模块,并可集成长程轮廓测量、旋转样品台及FFU洁净控制等工业级功能。