제품소개

엘립소미터

타원편광분석법(Ellipsometry)은 박막과 표면 특성 분석을 위한 고감도 비접촉 광학 측정 기술입니다. 반사광의 편광 상태 변화를 분석함으로써 나노미터 및 서브나노미터 수준까지 박막 두께와 광학 상수를 정밀하게 측정할 수 있습니다.